| 1、玻義爾定律 | 2、蓋·呂薩克定律 | 3、查理定律 |
| 4、平均自由程 | 5、抽速 | 6、通導 |
| 7、真空抽氣時間 | 8、維持泵選擇 | 9、擴散泵抽速估算 |
| 10、羅茨泵的前級抽速 | 11、漏率 | 12、粗抽泵的抽速選擇 |
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體積V，壓強P，P·V＝常數(shù) 一定質(zhì)量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。 即P1/P2＝V2/V1 當壓強P不變時，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比： V1/V2＝T1/T2＝常數(shù) 當壓強不變時，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。 當氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強P與其絕對溫度T成正比，即： P1/P2＝T1/T2 在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強比原來增加(或減少)1/273。 λ＝(5×10-3)/P (cm) S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/PQ＝流量(托·升/秒) P＝壓強(托) V＝體積(升) t＝時間(秒) 對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式： t＝8V/S (經(jīng)驗公式) V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。 S維＝S前/10 S＝3D2 (D＝直徑cm） S＝(0.1~0.2)S羅 (l/s) Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1) Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s) V－系統(tǒng)容積(l) P1－真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg) P2－真空室經(jīng)過時間t后達到的壓強(mmHg) t－壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間(s) S＝Q1/P預 (l/s) S=2.3V·lg(Pa/P預)/t S－機械泵有效抽速 Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒) P預－需要達到的預真空度(托) V－真空系統(tǒng)容積(升) t－達到P預時所需要的時間 Pa－大氣壓值(托） 排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有： PnSg≥PgS 或Sg≥Pgs/Pn Sg－前級泵的有效抽速(l/s) Pn－主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s) Pg－真空室最高工作壓強(托) S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s) S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒) 式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s) n－滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格) t－油柱上升n格所需要的時間(秒) P－在泵口附近測得的壓強(托) K－滴管系數(shù)(托·升/秒) K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt 其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升) L－滴管刻度部分的長度(mm) n－滴管刻度部分的格數(shù)(格) Υ0－油的比重(克/厘米3) Υm－汞的比重(克/厘米3) Pa－當?shù)卮髿鈮簭?托) △Vt－滴管的刻度上的一格的對應的容積(升/格) S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95％)。 D為橡膠直徑，槽寬C＝1.6B A為方形橡膠邊長，槽寬C＝1.67B |